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XAD-200是一款全元素上照式熒光光譜儀，既保留了專用測(cè)厚儀檢測(cè)微小樣品和凹槽的膜厚性能，又可滿足RoHS有害元素檢測(cè)及成分分析，搭載全自動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)XYZ軸編程位移，實(shí)現(xiàn)無人值守多點(diǎn)測(cè)量，測(cè)量軟件置入先進(jìn)的EFP算法及解譜技術(shù)，解決了諸多業(yè)界難題。
鍍層測(cè)厚儀：多元迭代的EFP算法充分運(yùn)用各種已知條件及譜圖，參與運(yùn)算出更多使用者需求的檢測(cè)結(jié)果，關(guān)聯(lián)：已知、未知及半定量，成分、密度、輕元素、有機(jī)物、化合物等等。
